特許

J-GLOBAL ID：201103091346404239

位置検出装置

発明者： 真継 優和 ,  斉藤 謙治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-186936
公開番号（公開出願番号）：特開平3-048705
特許番号：特許第2704001号
出願日： 1989年07月18日
公開日（公表日）： 1991年03月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】対向させて配置された第1物体と第2物体との対向方向と直交する第1の方向に関する相対位置ずれを検出する位置検出装置において、前記第1物体と第2物体上に設けれた物理光学素子であって、前記第1の方向に光学パワーを有し前記第1の方向と直交する第2の方向に光学パワーを有しない物理光学素子に光束を照射するための光源手段と;照射光束が第1及び第2物体上の前記物理光学素子により作用を受けて発生する光束を検出面で受光する光検出手段;検出面内の所定方向に関する前記光束の入射位置に基づいて前記第1の方向に関する前記第1物体と前記第2物体との相対位置ずれを検出し、検出面内の前記所定方向と直交する方向に関する前記光束の入射位置に基づいて前記対向方向に関する前記第1物体と前記第2物体との相対位置を検出する位置検出手段とを有することを特徴とする位置検出装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/14 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G01B 11/00 A ,  G01B 11/00 G ,  G01B 11/14 Z ,  G01B 11/14 G ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 510 ,  H01L 21/30 506 F ,  H01L 21/30 511