特許
J-GLOBAL ID：201103091370824958
垂直磁気記録ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野▲崎▼ 照夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-394737
公開番号（公開出願番号）：特開2002-197610
特許番号：特許第3875020号
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 以下の工程を有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
(a)磁性材料で補助磁極層を形成する工程、
(b)記録媒体との対向面となる面よりも奥側で、前記補助磁極層の上に磁性材料で接続層を形成する工程、
(c)前記記録媒体との対向面となる面よりも奥側の領域にコイル層を形成する工程、
(d)前記補助磁極層上に絶縁層を積層し、この絶縁層上にメッキ下地層を成膜する工程、
(e)前記メッキ下地層の上にレジスト層を形成して、前記レジスト層に、前記対向面から奥側へ所定の奥行きを有する溝をパターン形成した後、前記レジスト層を熱処理することにより、前記溝のトラック幅方向の内幅寸法を補助磁極層から離れるにしたがって徐々に広がる形状にする工程、
(f)前記溝内で、主磁極層をメッキで形成する工程、
(g)前記主磁極層の中心線に対して所定の角度だけ傾いた方向からミリング粒子を入射させるミリングで、前記主磁極層の上面を平坦化させる工程、
(h)前記レジスト層を除去する工程、
(i)前記主磁極層と前記接続層を、直接又は前記主磁極層の上と前記接続層の上にヨーク層を形成して、磁気的に接続する工程、
IPC (1件)：
FI (2件)：
G11B 5/31 C
, G11B 5/31 D
