特許
J-GLOBAL ID:201103091553663830
物体の寸法取得を向上させる方法およびコンピュータプログラム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
村山 靖彦
, 志賀 正武
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-504408
公開番号(公開出願番号):特表2011-519419
出願日: 2009年04月02日
公開日(公表日): 2011年07月07日
要約:
本発明は、物体の上に誘導される寸法測定デバイスによる物体の寸法取得の効率を向上させる方法であって、a)測定デバイスを物体の上に誘導して、その寸法を取得するステップと、b)取得した領域の分解能の指示をもたらすステップと、c)測定デバイスを、取得した領域の、所定の基準に基づいて不十分な分解能を指示する少なくとも一部分の上に再度誘導するステップと、d)取得した領域の分解能の指示を更新するステップと、e)所定の基準に基づいて十分な分解能が指示されるまで、ステップc)およびd)を繰り返すステップとを含み、それにより、物体の寸法を十分な分解能で効率的に取得する方法に関する。本発明は、そのためのコンピュータプログラムにも関する。
請求項(抜粋):
物体の上に誘導される寸法測定デバイスによる前記物体の寸法取得の効率を向上させる方法であって、
a)前記測定デバイスを前記物体の領域の上に誘導して、その寸法を取得するステップと、
b)前記取得した領域の分解能の指示をもたらすステップと、
c)前記測定デバイスを、前記取得した領域の、所定の基準に基づいて不十分な分解能を指示する少なくとも一部分の上に再度誘導するステップと、
d)前記取得した領域の分解能の前記指示を更新するステップと、
e)前記所定の基準に基づいて十分な分解能が指示されるまで、ステップc)およびd)を繰り返すステップと
を含み、
それにより、前記物体の前記寸法を十分な分解能で効率的に取得する
方法。
IPC (3件):
G01B 21/04
, G01B 21/20
, G06F 17/50
FI (3件):
G01B21/04
, G01B21/20 101
, G06F17/50 602M
Fターム (12件):
2F069AA04
, 2F069AA31
, 2F069GG01
, 2F069GG04
, 2F069GG07
, 2F069GG08
, 2F069GG09
, 2F069GG59
, 2F069NN00
, 2F069NN16
, 2F069QQ07
, 5B046JA02
引用特許: