シート抵抗測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原謙三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-128416
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311750
特許番号：特許第3632832号
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】磁界を発生するコイル部を備えてなるセンサヘッドを用い、薄膜状被測定体のシート抵抗を測定する方法であって、上記薄膜状被測定体を、該薄膜状被測定体の形成部に後続されたロードロック室から搬出された金属薄膜とし、かつ、上記センサヘッドおよび上記金属薄膜を、温度が一定な気流を一定量流す気流下に設置する工程と、上記金属薄膜の片面側に対し、上記コイル部から磁界の磁力線を照射して、該金属薄膜に上記磁界による渦電流を形成する第一の工程と、上記渦電流の形成により生じた渦電流損に応じた上記磁界の変化量を、上記金属薄膜のシート抵抗として検出する第二の工程とを含んでなることを特徴とするシート抵抗測定方法。

IPC (4件)：