特許

J-GLOBAL ID：201103092174880200

平板状精密部品の組立装置

発明者： 吉岡 寿夫 ,  城所 正
出願人/特許権者： 三和システムエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小林 英一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-331932
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133339
特許番号：特許第3859484号
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 平板状精密部品を他の精密部品上に移載する平板状精密部品の組立装置であって、平板状精密部品を位置決めするセンタリングチャック(4)と、下端部に平板状精密部品を保持しながら前記センタリングチャック(4)の直上から上方に垂直方向の昇降のみを行う吸着ヘッド(2)と、平板状精密部品を保持する複数のホルダ(34)を上面に搭載して前記吸着ヘッド(2)の昇降ストロークの中間高さで水平移動しながら前記センタリングチャック(4)の直上をかわす退避位置ならびに各ホルダ(34)が前記吸着ヘッド(2)の直下になる位置で停止させることのできるワークステージ(3)とからなることを特徴とする平板状精密部品の組立装置。

IPC (2件)：

H01L 21/52 ( 200 6.01) ,  H05K 13/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/52 F ,  H05K 13/04 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-084843
  
• 平板状精密部品の位置決め方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-199767   出願人：三和システムエンジニアリング株式会社