特許
J-GLOBAL ID：201103092209629718
洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野中 誠一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-340914
公開番号（公開出願番号）：特開2003-145067
特許番号：特許第3598287号
出願日： 2001年11月06日
公開日（公表日）： 2003年05月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】蒸気洗浄及び真空乾燥を実現可能な洗浄槽と、洗浄液を貯留する貯留槽と、減圧状態で洗浄液を沸騰させている蒸気発生槽と、洗浄蒸気を液中に導入して回収する回収槽と、前記各部を適宜な減圧状態にする真空ポンプとを備え、前記洗浄槽と前記真空ポンプの吸入口を接続すると共に、前記回収槽を大気に開放して前記真空ポンプから吐出される洗浄蒸気を前記回収槽の洗浄液の液中に導入する真空乾燥動作を備えることを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B08B 3/04 Z
, C23G 3/00 Z
