特許
J-GLOBAL ID：201103092295559689
マルチパス導波光変調器を使用して光ビームを光変調するための方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-533466
特許番号：特許第4617045号
出願日： 2000年10月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 前面と裏面を有する集積回路ダイの半導体基板中に形成された帯電領域と;
半導体基板を介して帯電領域へ光ビームを入射するため半導体基板の裏面に形成される光ビーム入口と;
帯電領域に近接して配置され、光ビームを偏向してこの帯電領域に戻すための第1の偏向器と;
第1の偏向器で偏向された光ビームを更に偏向して、帯電領域に戻すための第1の偏向器に対向して配置される第2の偏向器と;
帯電領域を介して第1および第2の偏向器の間で複数回にわたって偏向された光ビームを出力するため半導体基板の裏面に形成される光ビーム出口と;
帯電領域の自由電荷分布を変調する信号をドープ領域へ伝達する絶縁体内の導体と;
から構成され、半導体基板の前面は絶縁体を介してパッケージ基板に取付けられることを特徴とする光変調器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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