特許
J-GLOBAL ID：201103092499235556
ランガサイト単結晶及びそのウエーハ、並びにこれらの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116230
公開番号（公開出願番号）：特開2000-302598
特許番号：特許第4221111号
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 六方晶系表示の面指数{hkl}が、
{032}、{043}、{022}、{034}、{023}、{035}、{012}、{025}、又は{013}
で表わされる結晶面群に属するいずれかの結晶面の垂線方向に単結晶の育成軸を有することを特徴とするランガサイト単結晶。
IPC (2件)：
C30B 29/34 ( 200 6.01)
, H01L 41/24 ( 200 6.01)
C30B 29/34 Z
, H01L 41/22 A
