特許

J-GLOBAL ID：201103092681112184

圧電デバイス、および圧電デバイスの周波数調整方法

発明者： 川瀬 裕一 ,  茂木 俊昭
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-122291
公開番号（公開出願番号）：特開2011-250228
出願日： 2010年05月28日
公開日（公表日）： 2011年12月08日
要約：

【課題】 周波数を上昇させたり下降させたりすることができる圧電デバイスを提供する。【解決手段】 第1観点の圧電デバイス(100)は、音叉型の圧電振動片(50)をパッケージ(PKG)内に収納する圧電デバイスである。音叉型の圧電振動片(50)は、圧電材料により形成された基部(23)と基部から所定方向に平行に伸びる一対の振動腕(21)と振動腕の先端側に形成される周波数調整部(26)とを備える。パッケージ(PKG)は、レーザ光(L)が照射されるパッケージの内側の面(BT)に絶縁物質部(56)を有する。周波数調整部(26)は、所定方向に伸びる金属膜(28a)とレーザ光が透過するように所定方向に伸び金属膜が形成されていない電極非形成部(29a)とを有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

音叉型の圧電振動片を固定するベースと前記ベースに接合し前記ベースを封止するリッドとを含むパッケージ内に前記音叉型の圧電振動片を収納する圧電デバイスであって、 前記音叉型の圧電振動片は、圧電材料により形成された基部と、前記基部から所定方向に平行に伸び励振電極を有する一対の振動腕と、前記振動腕の先端側に形成される周波数調整部と、を有し、 前記パッケージは少なくとも、レーザ光が照射される前記パッケージの内側の面に絶縁物質部を有し、 前記レーザ光が前記絶縁物質部に照射され、その絶縁物質部から昇華した絶縁粒子が前記周波数調整部に形成されている圧電デバイス。

IPC (6件)：

H03H 9/02 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (7件)：

H03H9/02 M ,  H03H3/04 B ,  H03H9/19 L ,  H03H9/02 A ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A

Fターム (26件)：

5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG07 ,  5J108GG14 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108GG20 ,  5J108HH04 ,  5J108HH05 ,  5J108HH06 ,  5J108KK02 ,  5J108KK04 ,  5J108KK06 ,  5J108NA03 ,  5J108NB03 ,  5J108NB05 ,  5J108NB06