特許
J-GLOBAL ID：201103092704889459
直動形サーボ弁並びに圧延機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-067339
公開番号（公開出願番号）：特開平7-310705
特許番号：特許第2630298号
出願日： 1989年03月13日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ケーシングと、このケーシング内にその軸方向に移動可能に設けられ、流体圧源からの作動流体を制御対象に供給制御するスプールと、このスプールに一体的に結合され、スプールの軸方向に巻装されたコイルを有する可動子と、ケーシング内に前記コイルと対向するよう配設された固定子と、スプールの変位を検出する変位検出器と、スプールの速度を検出する速度検出器とを備え、変位検出器及び速度検出器の出力に基づいてスプールの移動を制御する直動形サーボ弁であって、固定子と可動子との間に粘性流体を満たし、この粘性流体によって前記スプールの軸方向の運動に与えられる減衰を前記速度検出器の出力に基づく制御によって与えられる減衰よりも小さくしたことを特徴とする直動形サーボ弁。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭51-013093
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特開昭54-108497
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