特許
J-GLOBAL ID：201103092897602585
ガスセンサの製造方法及びガス検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
塩入 明
, 塩入 みか
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-077263
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275201
特許番号：特許第3988909号
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ガス検出用の金属酸化物半導体とヒータとを所定の形状に組み付けた後に、珪素の有機化合物の蒸気を含む雰囲気に前記金属酸化物半導体を暴露して、前記ヒータにより前記金属酸化物半導体に付着した珪素化合物を分解することにより、悪臭物質への感度を増感することを特徴とする、ガスセンサの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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