特許
J-GLOBAL ID:201103093394461557
搬送装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
三中 英治
, 三中 菊枝
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-280763
公開番号(公開出願番号):特開2002-096285
特許番号:特許第4286441号
出願日: 2000年09月14日
公開日(公表日): 2002年04月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】 内軸(21B)と中空状の外軸(21A)との同軸2軸の出力軸をもって、各出力軸(21B、21A)に接続され独立して駆動させる駆動モータ(70A、70B)によって搬送物を搬送する搬送装置において、
前記内軸(21B)と前記外軸(21A)との間および前記外軸(21A)と前記外軸の周囲に位置する円筒ハウジング(62)との間にそれぞれ軸シール(63B、63A)が介在しており、
第一駆動モータ(70B)および外接軸(20B)と該外接軸に接触する中間軸(30B)と該中間軸に接触する内接円筒(40B)とからなり該第一駆動モータ(70B)の回転を減速する第一トラクションドライブ減速機(50B)が大気側に配置され、
第二駆動モータ(70A)および外接軸(20A)と該外接軸に接触する中間軸(30A)と該中間軸に接触する内接円筒(40A)とからなり該第二駆動モータの回転を減速する第二トラクションドライブ減速機(50A)が大気側に配置され、
前記内軸(21B)と前記第一トラクションドライブ減速機(50B)の前記外接軸(20B)とが結合されるとともに、前記外軸(21A)と前記第二トラクションドライブ減速機(50A)の前記外接軸(20A)とが結合され、
前記内軸(21B)の位置検出器(67B、69B)が前記内軸(21B)の前記第一駆動モータ(70A)側の端部に位置する大気側に設けられて、該内軸(21B)の回転位置を検出しており、
前記外軸(21A)の位置検出器(67A、69A)が外軸用の前記軸シール(63)と前記第二および第ニトラクションドライブ減速機(50B、50A)との間に位置するとともに、前記外軸(21A)と前記円筒ハウジング(62)との間に位置して大気側に設けられて、該外軸(21A)の回転位置を検出している
ことを特徴とする搬送装置。
IPC (2件):
B25J 17/00 ( 200 6.01)
, F16H 13/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
B25J 17/00 E
, F16H 13/00
引用特許:
出願人引用 (6件)
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基板搬送装置及び半導体製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-129998
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立画像情報システム
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搬送装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平6-523409
出願人:ブルックスオートメーションインコーポレイテッド
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搬送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-003918
出願人:新明和工業株式会社
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審査官引用 (4件)
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基板搬送装置及び半導体製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-129998
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立画像情報システム
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搬送装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平6-523409
出願人:ブルックスオートメーションインコーポレイテッド
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搬送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-003918
出願人:新明和工業株式会社
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