特許
J-GLOBAL ID：201103093647472429

感光性組成物

発明者：
宮本 彩子

宮本 彩子 について

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白鳥 進

白鳥 進 について

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中里 睦

中里 睦 について

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廣嶋 努

廣嶋 努 について


出願人/特許権者：
東洋インキ製造株式会社

東洋インキ製造株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-181994
公開番号（公開出願番号）：特開2011-033952
出願日： 2009年08月05日
公開日（公表日）： 2011年02月17日
要約：
【課題】紫外線露光と現像とによりパターンを作製するために用いられる感光性組成物であって、作製したパターンに熱処理を行うことによって平滑性に優れた順テーパー形状のパターンに変化させることができ、かつ耐熱性と耐候性とに優れた塗膜を形成できる感光性組成物の提供。【解決手段】水酸基とカルボキシル基とを有しない式量70〜120のエチレン性不飽和モノマー(a)10〜50重量%、水酸基含有エチレン性不飽和モノマー(b)40〜60重量%、およびカルボキシル基含有エチレン性不飽和モノマー(c)10〜30重量%を含むエチレン性不飽和モノマー(M)をラジカル重合してなる共重合体(A)中の水酸基1molに対し、イソシアネート基含有エチレン性不飽和モノマー(d)中のイソシアネート基を0.5〜1mol反応させてなる感光性樹脂(B)を含有する感光性組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
水酸基とカルボキシル基とを有しない式量70〜120のエチレン性不飽和モノマー(a)10〜50重量%、水酸基含有エチレン性不飽和モノマー(b)40〜60重量%、およびカルボキシル基含有エチレン性不飽和モノマー(c)10〜30重量%を含むエチレン性不飽和モノマー(M)をラジカル重合してなる共重合体(A)中の水酸基1molに対し、 イソシアネート基含有エチレン性不飽和モノマー(d)中のイソシアネート基を0.5〜1mol反応させてなる感光性樹脂(B)を含有する感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 8/30 ,  C08F 290/12
FI (5件)：
G03F7/038 501 ,  G03F7/004 505 ,  H01L21/30 502R ,  C08F8/30 ,  C08F290/12
Fターム (118件)：
2H125AC36 ,  2H125AC43 ,  2H125AC44 ,  2H125AC47 ,  2H125AC49 ,  2H125AD02 ,  2H125AD15 ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM25P ,  2H125AM32P ,  2H125AN14P ,  2H125AN39P ,  2H125AN94P ,  2H125AP03P ,  2H125BA04P ,  2H125BA16P ,  2H125BA35P ,  2H125CA16 ,  2H125CA17 ,  2H125CA18 ,  2H125CB02 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD06P ,  2H125CD08P ,  2H125CD34 ,  4J100AB02Q ,  4J100AB03Q ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AE02Q ,  4J100AE06Q ,  4J100AG04Q ,  4J100AJ01R ,  4J100AJ02R ,  4J100AJ03R ,  4J100AK32Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100AL09P ,  4J100AM15Q ,  4J100AM17Q ,  4J100AM19Q ,  4J100AM21P ,  4J100AQ08Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA04R ,  4J100BA10H ,  4J100BA10P ,  4J100BA15R ,  4J100BA16R ,  4J100BA29Q ,  4J100BA35H ,  4J100BA35P ,  4J100BC04P ,  4J100BC43P ,  4J100BC43R ,  4J100CA03 ,  4J100CA31 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100HA35 ,  4J100HA62 ,  4J100HC25 ,  4J100HC51 ,  4J100HC85 ,  4J100HG23 ,  4J100JA37 ,  4J127AA03 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BC031 ,  4J127BC151 ,  4J127BD061 ,  4J127BE05X ,  4J127BE051 ,  4J127BE11X ,  4J127BE111 ,  4J127BE24X ,  4J127BE241 ,  4J127BE28X ,  4J127BE281 ,  4J127BE33X ,  4J127BE331 ,  4J127BE34X ,  4J127BE341 ,  4J127BE43X ,  4J127BE431 ,  4J127BE44X ,  4J127BE441 ,  4J127BE51Y ,  4J127BE511 ,  4J127BG04X ,  4J127BG041 ,  4J127BG05X ,  4J127BG051 ,  4J127BG12X ,  4J127BG121 ,  4J127BG13X ,  4J127BG131 ,  4J127BG16X ,  4J127BG161 ,  4J127BG17X ,  4J127BG171 ,  4J127BG25X ,  4J127BG251 ,  4J127BG27Y ,  4J127BG271 ,  4J127BG31X ,  4J127BG311 ,  4J127CB371 ,  4J127CC111 ,  4J127FA17 ,  4J127FA30
引用特許：
審査官引用 (6件)
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