特許
J-GLOBAL ID：201103093868107482
基板めっき治具
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
熊谷 隆
, 高木 裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-061772
公開番号（公開出願番号）：特開2001-247999
特許番号：特許第3629396号
出願日： 2000年03月07日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】板状の第1保持部材と、環状シールパッキンが設けられると共に該環状シールパッキンの内側に開口が形成されている第2保持部材とを具備し、該第1保持部材と該第2保持部材の間に被めっき基板を介在させ挟み込み保持することにより、前記環状シールパッキンが該被めっき基板の表面に密接すると共に、該被めっき基板の被めっき面が前記開口に露出するように構成された基板めっき治具において、一端が前記第1保持部材又は第2保持部材に支点を中心に回動自在に支持され、且つ前記被めっき基板を保持した状態の該第1保持部材と該第2保持部材の対向する両側辺を該側辺に沿って挟み込む断面コの字型の第1及び第2クランパを具備することを特徴とする基板めっき治具。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C25D 17/08 G
, C25D 17/08 Q
, H01L 21/288 E
