特許
J-GLOBAL ID：201103094062552040
走査型分光顕微鏡及び走査型分光情報検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坪井 淳 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-177063
公開番号（公開出願番号）：特開平3-043944
特許番号：特許第2916167号
出願日： 1989年07月11日
公開日（公表日）： 1991年02月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】試料に対向して設けられた探針と、この探針と前記試料との間の距離を制御する制御手段と、前記探針もしくは試料に変調電圧を印加する電圧印加手段と、前記探針と試料との間に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電圧印加手段の変調電圧と前記電流検出手段で検出される電流とに基づいて、前記試料の電流電圧特性を実時間で演算する演算手段と、を具備し、前記電流電圧特性に基づいて前記試料の分光情報を得ることを特徴とする走査型分光顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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