特許
J-GLOBAL ID：201103094307733887
端面発光型EL素子アレイの製作方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-097084
公開番号（公開出願番号）：特開平2-274573
出願日： 1989年04月17日
公開日（公表日）： 1990年11月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板上に導電層を形成し、この導電層をエッチングして各々所定数の端面発光型EL素子と導通するブロック電極を形成し、これらブロック電極の上にEL素子層と上部電極層とを順次積層形成し、これらEL素子層と上部電極層とをパターニングして複数個の端面発光型EL素子を分割形成し、これら端面発光型EL素子を含む基板全面に透光性を有する保護膜を形成し、この保護膜をエッチングして前記ブロック電極の端部を露出させた端子部と前記端面発光型EL素子の上部電極層まで到達したコンタクトホールとを形成し、これらコンタクトホールを被うように導電層を形成し、この導電層をエッチングして各ブロックの所定の端面発光型EL素子と導通する共通電極を形成するようにしたことを特徴とする端面発光型EL素子アレイの製作方法。
IPC (3件)：
B41J 2/44
, B41J 2/45
, B41J 2/455
