特許
J-GLOBAL ID：201103094367646428
カソードルミネッセンス用試料ホルダ、及びカソードルミネッセンス分光分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 三彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-334389
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139703
特許番号：特許第3718818号
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】透過型電子顕微鏡に取付可能なカソードルミネッセンス用試料ホルダであって、透過型電子顕微鏡の真空チャンバに挿入可能な中空状のホルダ本体と、ホルダ本体の先端近傍に設けられ、真空チャンバ内において電子線が照射される試料を固定するための試料固定部と、試料固定部近傍に光取込口が位置するようにして、ホルダ本体内の試料固定部近傍から基端側へ延設された光ファイバと、試料固定部と対向位置に配置され、試料から発生した光を光ファイバの光取込口に向かって反射するとともに、所定位置に穿たれた孔により電子線を通過させる反射板と、を具備するものであることを特徴とするカソードルミネッセンス用試料ホルダ。
IPC (3件)：
G01N 21/62
, H01J 37/20
, H01J 37/252
G01N 21/62 A
, H01J 37/20 A
, H01J 37/252 Z
