特許
J-GLOBAL ID：201103094444140559
ウェーハ処理システムのレシピ・カスケーディング
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 大賀 眞司
, 大貫 敏史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-566169
特許番号：特許第3987725号
出願日： 2000年06月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数のウェーハの一連の個々のウェーハ(208、210、212)を処理する複数のモジュールと、前記複数のモジュールにおける第1のモジュールから前記複数のモジュールにおける次のモジュールにウェーハを運搬する複数の運搬手段(312、314、316、320)と、を含むウェーハ処理システムを設ける段階と、
第1の処理レシピを有する第1の複数のウェーハを前記ウェーハ処理システムに搭載する段階と、
前記第1の処理レシピで使用されるモジュール間の前記第1の複数のウェーハの搭載、取り外し及び運搬を行うための第1の送り周期を有する第1のスケジュールを生成する段階であって、前記第1の送り周期で区切られた間隔で前記第1の複数のウェーハにおけるウェーハがウェーハ処理システムに個別に搭載され、前記第1の送り周期が第1のゲートモジュールの処理時間にほぼ等しく、前記第1のゲートモジュールが前記第1の処理レシピにおけるすべてのモジュールのうちの最も長い処理時間を有するモジュールである段階と、
前記第1の処理レシピ及び前記第1のスケジュールに従って、前記第1の複数のウェーハにおけるウェーハを処理する段階と、
第2の処理レシピを有する第2の複数のウェーハを前記ウェーハ処理システムに搭載する段階と、
前記第2の処理レシピで使用されるモジュール間の前記第2の複数のウェーハの搭載、取り外し及び運搬を行うための第2の送り周期を有する第2のスケジュールを生成する段階であって、前記第2の複数のウェーハにおけるウェーハが前記第2の送り周期で区切られた間隔で前記ウェーハ処理システムに個別に搭載され、前記第2の送り周期が第2のゲートモジュールの処理時間にほぼ等しく、前記第2のゲートモジュールが前記第2の処理レシピにおけるすべてのモジュールのうちの最も長い処理時間を有するモジュールである段階と、
前記第1及び第2の処理レシピに使用されるモジュール間において前記第1及び第2の複数のウェーハの搭載、取り外し及び運搬を行うための移行送り周期を有する移行スケジュールを生成する段階であって、前記第1及び第2の複数のウェーハにおけるウェーハが前記移行送り周期で区切られた間隔で前記ウェーハ処理システムに個別に搭載され、前記移行送り周期が移行ゲートモジュールの処理時間にほぼ等しく、前記移行ゲートモジュールが前記第1及び第2の処理レシピの両方におけるすべてのモジュールのうちの最も長い処理時間を有するモジュールであり、前記移行スケジュールが移行期間のためのものであり、前記移行期間は、前記ウェーハ処理システムが前記第1の処理レシピに従って前記第1の複数のウェーハにおける1つ以上のウェーハを処理し、かつ、前記第2の処理レシピに従って前記第2の複数のウェーハにおける1つ以上のウェーハを処理する期間であり、前記第1、第2及び移行スケジュールにより前記複数のモジュール間のコンフリクトが解消され、コンフリクトが、別々のモジュールがロボットに対し、当該ロボットには不十分な時間の範囲内でこれらのモジュールに仕えることを要求する状況である段階と、
前記移行期間中に、前記移行スケジュールを有する前記第1及び第2の複数のウェーハを処理する段階と、
前記第2のスケジュールを有する前記第2の複数のウェーハにおけるウェーハを処理する段階と、
を含むことを特徴とするウェーハ処理方法。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01)
, G05B 19/418 ( 200 6.01)
H01L 21/02 Z
, G05B 19/418 Z
