角速度センサ素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：内藤浩樹 , 永野大介 , 藤井兼太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-003587
公開番号（公開出願番号）：特開2011-209270
出願日： 2011年01月12日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサに用いられる角速度センサ素子に関し、出力感度の大きな角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明の角速度センサ素子は、第1の駆動アーム11aおよび第2の駆動アーム11bの形状を錘部10の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造としたものであり、この構成によれば、第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの振動方向への変位量が大きくなり、これにより、出力感度が大きな角速度センサ素子を提供することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

一対の固定部と、この一対の固定部のうちの一方の固定部に一端が支持された第1の駆動アームと、他方の固定部に一端が支持されるとともに前記第1の駆動アームと連設された第2の駆動アームと、前記第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの他端に支持された錘部と、前記一対の固定部の双方を連結する連結部と、前記第1の駆動アームと第2の駆動アームとのいずれか一方または両方に設けられて前記固定部と前記錘部を結ぶ方向に前記錘部を駆動振動させる圧電体層を設けた駆動電極と、前記第1の駆動アームと第2の駆動アームとのいずれか一方または両方に設けられて第1の駆動アームおよび第2の駆動アームに発生するコリオリ力を検出する圧電体層を設けた検出電極とを備え、前記第1の駆動アームおよび第2の駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造とした角速度センサ素子。

IPC (5件)：

G01C 19/56 , H01L 41/08 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/18

FI (5件)：

G01C19/56 , H01L41/08 Z , H01L41/08 C , H01L41/18 101D , H01L41/18 101A

Fターム (6件)：

2F105AA01 , 2F105BB02 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

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