特許
J-GLOBAL ID：201103094742394890
方向性結合器の特性測定方法及びその方法を用いた方向性結合器及びこの方向性結合器を備えたプラズマ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-366398
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168892
特許番号：特許第3612487号
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】電源の出力端を方向性結合器の入力端に接続し、方向性結合器の出力端をインピーダンス終端器の入力端に接続し、該方向性結合器の内部を伝播する電磁波に応じた方向性結合器の出力信号を測定することによって該方向性結合器の結合度及び方向性を測定する方向性結合器の特性測定方法であって、前記インピーダンス終端器として、反射波を発生するインピーダンス終端器を用いることを特徴とする方向性結合器の特性測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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