特許
J-GLOBAL ID：201103094751350340
ウエハプローバ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安富 康男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-251087
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135681
特許番号：特許第3813420号
出願日： 2000年08月22日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】支持容器と、その上に設けられ、表面に導体層が形成されたセラミック基板とからなり、回路が形成されたウエハを前記セラミック基板上に載置し、プローブカードを押しつけることにより導通テストを行うウエハプローバ装置であって、
前記支持容器には、前記セラミック基板との間に支持柱が形成されてなることを特徴とするウエハプローバ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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