特許

J-GLOBAL ID：201103094861220948

素子の搬送装置

発明者： 吉田 正 ,  河島 二郎
出願人/特許権者： 澁谷工業株式会社
代理人 (1件)： 仁科 勝史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-163484
公開番号（公開出願番号）：特開2001-341835
特許番号：特許第3709542号
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】素子の側面を吸着保持する保持部を備え、保持した素子を間欠的に移送する移送手段と、移送手段の保持部に素子を供給する供給手段からなる素子の搬送手段であって、保持部には素子の隣接する2側面に当接可能な当接面が形成されており、供給手段が移送手段の保持部に素子を供給する位置には、保持部の下方側に載置テーブルが配置されていると共に、載置テーブルに供給された素子を保持部の当接面に押し付ける位置合わせ機構が設けられ、位置合わせ機構によって載置テーブル上で位置合わせされた状態の素子を保持部に吸着保持して移送することを特徴とする素子の搬送装置。

IPC (4件)：

B65G 47/86 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/68 ,  H01L 33/00

FI (7件)：

B65G 47/86 G ,  G01R 31/26 F ,  G01R 31/26 Z ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 G ,  H01L 21/68 P ,  H01L 33/00 K

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平3-008619
  
• ICテストハンドラのデバイス搬送機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-138085   出願人：株式会社アドバンテスト