パターン形成方法及び感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (19件)：蔵田昌俊 , 河野哲 , 中村誠 , 福原淑弘 , 峰隆司 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 野河信久 , 幸長保次郎 , 河野直樹 , 砂川克 , 勝村紘 , 河井将次 , 佐藤立志 , 岡田貴志 , 堀内美保子 , 竹内将訓 , 市原卓三 , 山下元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-250885
公開番号（公開出願番号）：特開2011-095607
出願日： 2009年10月30日
公開日（公表日）： 2011年05月12日
要約：

【課題】フォーカス余裕度(DOF)及びラフネス特性に優れ且つブリッジ欠陥及び欠けの少ないパターンを形成可能とするパターン形成方法並びに感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明に係るパターン形成方法は、(A)感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、(B)前記膜を露光することと、(C)有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することとを含み、前記組成物は、(a)酸の作用により前記現像液に対する溶解度が減少する樹脂であって、酸素原子を含んだ基がエステル結合及び芳香環基の何れも含んでいない2価の連結基又は単結合を介して主鎖と結合している繰り返し単位を備え、前記樹脂に占める前記繰り返し単位の含有率は、前記樹脂中の全繰り返し単位に対して20mol%乃至100mol%の範囲内である樹脂と、(b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、(d)溶剤とを含有している。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、 (B)前記膜を露光することと、 (C)有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することとを含んだパターン形成方法であって、前記組成物は、 (a)酸の作用により前記現像液に対する溶解度が減少する樹脂であって、酸素原子を含んだ基がエステル結合及び芳香環基の何れも含んでいない2価の連結基又は単結合を介して主鎖と結合している繰り返し単位を備え、前記樹脂に占める前記繰り返し単位の含有率は、前記樹脂中の全繰り返し単位に対して20mol%乃至100mol%の範囲内である樹脂と、 (b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、 (d)溶剤とを含有している方法。

IPC (5件)：

G03F 7/038 , H01L 21/027 , G03F 7/32 , G03F 7/30 , C08F 220/28

FI (6件)：

G03F7/038 601 , H01L21/30 502R , G03F7/32 501 , G03F7/32 , G03F7/30 , C08F220/28

Fターム (99件)：

2H096AA25 , 2H096BA06 , 2H096EA05 , 2H096EA30 , 2H096GA03 , 2H096GA18 , 2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF20P , 2H125AF21P , 2H125AF26P , 2H125AF33P , 2H125AF36P , 2H125AF38P , 2H125AF39P , 2H125AF45P , 2H125AF70P , 2H125AH04 , 2H125AH05 , 2H125AH12 , 2H125AH14 , 2H125AH15 , 2H125AH16 , 2H125AH19 , 2H125AH22 , 2H125AH24 , 2H125AH25 , 2H125AH29 , 2H125AJ12X , 2H125AJ12Y , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ16X , 2H125AJ16Y , 2H125AJ58X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ65Y , 2H125AJ66X , 2H125AJ68X , 2H125AJ68Y , 2H125AJ75X , 2H125AJ76X , 2H125AJ78X , 2H125AJ87Y , 2H125AJ90Y , 2H125AJ97Y , 2H125AL03 , 2H125AL11 , 2H125AM09P , 2H125AM22P , 2H125AM23P , 2H125AM27P , 2H125AM32P , 2H125AM43P , 2H125AM86P , 2H125AM99P , 2H125AN36P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN45P , 2H125AN54P , 2H125AN57P , 2H125AN62P , 2H125AN65P , 2H125AN67P , 2H125AN82P , 2H125AN86P , 2H125BA01P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC01 , 2H125CC15 , 2H125FA03 , 2H125FA05 , 4J100AL08P , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AL71P , 4J100AR21S , 4J100BA02P , 4J100BA03Q , 4J100BA03S , 4J100BA11P , 4J100BA15P , 4J100BA16P , 4J100BA40P , 4J100BB18S , 4J100BC04R , 4J100BC08S , 4J100BC09Q , 4J100BC53P , 4J100CA06 , 4J100JA38

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