特許
J-GLOBAL ID：201103095070034179
被処理体の処理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-253202
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076090
特許番号：特許第3552656号
出願日： 2000年08月23日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被処理体を密閉状態で収容する被処理体収容ボックスを一時的に貯留するためのストッカ部と、前記被処理体に対して所定の処理を施す処理ユニットと、少なくとも前記ストッカ部を内部に収容して前記被処理体収容ボックスを外部との間で搬出入させるボックス搬出入口が形成された筐体とを有する被処理体の処理システムにおいて、前記ボックス搬出入口の近傍に設けられて前記被処理体収容ボックスの開閉蓋を開閉する蓋開閉機構と、前記被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉時に出没されて前記開閉蓋を覆うと共に、その内部に清浄度の高い清浄気体が流される蓋開閉用ダクト部材とを備えたことを特徴とする被処理体の処理システム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 L
, B65G 49/00 A
