特許

J-GLOBAL ID：201103095388711013

拡散防止膜形成用ターゲット

発明者： 白井 孝典 ,  小田 淳一
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (2件)： 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-156922
公開番号（公開出願番号）：特開2002-352483
特許番号：特許第3978764号
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】Ge:50〜95原子%、Cr:5〜50原子%からなる組成を有する拡散防止膜形成用ターゲットにおいて、 Ge素地中にGe-Cr金属間化合物相が分散している組織を有することを特徴とする拡散防止膜形成用ターゲット。

IPC (4件)：

G11B 7/26 ( 200 6.01) ,  C22C 28/00 ( 200 6.01) ,  C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  B22F 3/14 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G11B 7/26 531 ,  C22C 28/00 B ,  C23C 14/34 A ,  B22F 3/14 A