配線構造およびその製造方法、並びに配線構造を備えた表示装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：植木久一 , 植木久彦 , 菅河忠志 , 伊藤浩彰 , 竹岡明美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-168597
公開番号（公開出願番号）：特開2011-091364
出願日： 2010年07月27日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：

【課題】基板側から順に、絶縁膜と、Cu合金膜と、薄膜トランジスタの酸化物半導体層と、を備えた配線構造であって、TiやMoなどのバリアメタル層を省略してCu合金膜を、基板および/または絶縁膜と電気的に直接接続しても、これらとの密着性に優れており、しかもCu系材料の特徴である低電気抵抗、並びに酸化物半導体層および/または画素電極を構成する透明導電膜との低いコンタクト抵抗を実現できる配線構造を提供する。【解決手段】Cu合金膜は、Zn、Ni、Ti、Al、Mg、Ca、W、Nb、およびMnよりなる群から選択される少なくとも1種の元素を合計で2〜20原子%含むCu合金からなる第一層(Y)と、純Cu、またはCuを主成分とするCu合金であって第一層(Y)よりも電気抵抗率の低いCu合金からなる第二層(X)と、を含む積層構造を有している。第一層(Y)は、基板および/または絶縁膜と直接接続されており、第二層(X)は、半導体層と直接接続されている。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基板の上に、基板側から順に、絶縁膜と、Cu合金膜と、薄膜トランジスタの半導体層と、を備えた配線構造であって、前記半導体層は酸化物半導体からなり、前記Cu合金膜は、 Zn、Ni、Ti、Al、Mg、Ca、W、Nb、およびMnよりなる群から選択される少なくとも1種の元素を合計で2〜20原子%含むCu合金からなる第一層(Y)と、純Cu、またはCuを主成分とするCu合金であって前記第一層(Y)よりも電気抵抗率の低いCu合金からなる第二層(X)と、を含む積層構造を有し、前記第一層(Y)は、前記基板および/または前記絶縁膜と直接接続されており、前記第二層(X)は、前記半導体層と直接接続されていることを特徴とする配線構造。

IPC (7件)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , H01L 21/320 , H01L 23/52 , H01L 21/768 , H01L 21/28 , G09F 9/30

FI (16件)：

H01L29/78 616V , H01L29/78 618B , H01L29/78 616U , H01L29/78 617M , H01L29/78 616K , H01L29/78 626C , H01L29/78 617T , H01L29/78 617J , H01L21/88 M , H01L21/90 A , H01L21/28 301R , H01L21/28 B , H01L21/28 301B , H01L21/90 C , G09F9/30 336 , G09F9/30 338

Fターム (71件)：

4M104AA03 , 4M104AA09 , 4M104BB04 , 4M104CC01 , 4M104DD37 , 4M104DD79 , 4M104FF13 , 4M104GG09 , 4M104HH09 , 4M104HH15 , 5C094AA21 , 5C094AA31 , 5C094AA43 , 5C094AA53 , 5C094BA03 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094JA01 , 5C094JA08 , 5F033GG01 , 5F033GG04 , 5F033HH38 , 5F033JJ38 , 5F033KK11 , 5F033KK12 , 5F033MM05 , 5F033PP15 , 5F033QQ73 , 5F033VV15 , 5F033WW02 , 5F033WW03 , 5F033WW04 , 5F033XX09 , 5F033XX14 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110CC03 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD15 , 5F110EE02 , 5F110EE06 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE44 , 5F110EE48 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110GG01 , 5F110GG43 , 5F110HK02 , 5F110HK06 , 5F110HK21 , 5F110HK42 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110HM18 , 5F110NN02 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN72

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