特許
J-GLOBAL ID:201103095498973684
圧電アクチュエータの給電構造、及びヘッドサスペンション
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
須藤 雄一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-203074
公開番号(公開出願番号):特開2011-054247
出願日: 2009年09月02日
公開日(公表日): 2011年03月17日
要約:
【課題】 圧電素子への配線作業を、圧電素子の損壊を未然に防止すると共に信頼性を維持した状態で遂行可能とする。【解決手段】 ロードビーム15に対面する側の電極に給電するために、ロードビーム15の圧電素子17とは異なる側に積層させて設けた配線部材19は、圧電素子17の側から導電性基材層19a、電気絶縁層19b及び導体層19cを順次積層させてなる。配線部材19は、電気絶縁層19bに設けた貫通孔19b1を介して、導体層19cと配線接続部15a1との間を導通接続する導通部19c1と、導通部19c1に連なる導電性基材層19aの部分を電気的に隔離形成した島状端子部19a1とを有する。圧電素子19への給電は、導通部19c1を介して行われる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
圧電素子の給電状態に応じた剪断変形に従って基部材に対し可動部材を微少移動させる圧電アクチュエータにおいて、
前記基部材は、導電性を有し、
前記基部材の接合面に、前記圧電素子の一側の電極面を導通接合し、
前記可動部材の接合面に、前記圧電素子の他側の電極面を接合し、
前記他側の面電極に、前記可動部材と一体又は別体の導電性の配線接続部の一側面を導通接合し、
前記配線接続部の他側面に、配線部材の一側面を接合し、
前記配線部材は、前記配線接続部の他側面から順次積層させた導電性基材層、電気絶縁層、及び導体層を有し、
前記導電性基材層は、前記配線接続部に接合固定された島状部及び前記配線接続部側から電気的に隔離形成された本体部を備え、
前記電気絶縁層に、貫通孔を設け、
前記貫通孔に、前記導体層と前記配線接続部とを導通させるための導通部を設けた、
ことを特徴とする圧電アクチュエータの給電構造。
IPC (4件):
G11B 5/60
, H02N 2/00
, G11B 21/21
, G11B 21/10
FI (4件):
G11B5/60 P
, H02N2/00 B
, G11B21/21 C
, G11B21/10 N
Fターム (13件):
5D042KA09
, 5D042KA11
, 5D042NA02
, 5D042PA05
, 5D042TA07
, 5D059AA01
, 5D059BA01
, 5D059CA01
, 5D059CA18
, 5D059DA19
, 5D059DA36
, 5D059EA08
, 5D096NN03
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