特許

J-GLOBAL ID：201103095545298184

ティーチング支援ユニットおよびティーチング方法

発明者： 樽井 誠
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-241051
公開番号（公開出願番号）：特開2011-091071
出願日： 2009年10月20日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：

【課題】メンテナンス用ドアを開放することなく、精度の高いティーチングを行う。【解決手段】基板と、距離センサと、モーメンタリ式押しボタンと、通信部と、充電用受電部と、蓄電部と、ユニット制御部とを含み、前記距離センサは前記基板の外周部に配置し、前記モーメンタリ式押しボタンは前記基板の裏面に配置したティーチング支援ユニットを用いてミニエンバイロメントウェーハ搬送装置のティーチングを行う。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板と、距離センサと、モーメンタリ式押しボタンと、通信部と、充電用受電部と、蓄電部と、ユニット制御部とを含み、前記距離センサは前記基板の外周部に配置し、前記モーメンタリ式押しボタンは前記基板の裏面に配置したことを特徴とするティーチング支援ユニット。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  B25J 9/22

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  B25J9/22 A

Fターム (42件)：

3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007FS01 ,  3C007HS09 ,  3C007JS07 ,  3C007JU09 ,  3C007KS03 ,  3C007KS04 ,  3C007NS13 ,  3C707AS24 ,  3C707BS15 ,  3C707FS01 ,  3C707HS09 ,  3C707JS07 ,  3C707JU09 ,  3C707KS03 ,  3C707KS04 ,  3C707NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA11 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA08 ,  5F031GA35 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA01 ,  5F031JA19 ,  5F031JA27 ,  5F031JA32 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031JA51 ,  5F031KA20 ,  5F031MA13 ,  5F031NA01 ,  5F031NA09 ,  5F031PA06