特許
J-GLOBAL ID:201103095656518540

コンマコータおよびそれを用いた基板のペースト塗布方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 机 昌彦 (外2名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-351705
公開番号(公開出願番号):特開2002-153788
特許番号:特許第3471747号
出願日: 2000年11月17日
公開日(公表日): 2002年05月28日
請求項(抜粋):
【請求項1】 回転自在に軸支されたアプリケータロールと、前記アプリケータロールと平行に固定して設けられ、前記アプリケータロールとの間にペーストを貯溜し、前記アプリケータロール面に転写される前記ペースト量を制御するコンマロールと、前記アプリケータロールの下方に前記アプリケータロールに対向し、回転自在に軸支されて設けられ、前記アプリケータロールと同じ方向に回転し、前記アプリケータロールから転写される前記ペーストを基板の表面に塗布するコーティングロールと、前記基板を設置するテーブルと、前記基板に前記ペーストを塗布する場合と塗布しない場合とで前記アプリケータロールおよび前記コーティングロールの回転速度をそれぞれ第1の速度および第2の速度に自動的に切替える機能を有する制御装置とを備えたことを特徴とするコンマコータ。
IPC (9件):
B05C 1/02 102 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/28 ,  B05D 3/00 ,  B05D 7/00 ,  B05D 7/24 302 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  G03F 7/16 501
FI (9件):
B05C 1/02 102 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/28 ,  B05D 3/00 B ,  B05D 7/00 E ,  B05D 7/24 302 B ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  G03F 7/16 501

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