重合体及びレジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中山亨 , 坂元徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-096028
公開番号（公開出願番号）：特開2011-252145
出願日： 2011年04月22日
公開日（公表日）： 2011年12月15日
要約：

【課題】レジストパターンを形成する際の露光マージン(EL)及びフォーカスマージン(DOF)に優れるレジスト組成物用の重合体を提供する。【解決手段】式(I)で表される基及び式(II)で表される基を有する重合体。[R1は炭素数1〜6のフッ化アルキル基を表す。R2は置換基を有してもよい炭素数6〜12の芳香族炭化水素基を表す。R3は置換基を有してもよい炭素数1〜12の炭化水素基を表す。B1は単結合、-(CH2)m-SO2-O-*1又は-(CH2)m-CO-O-*1を表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で表される基及び式(II)で表される基を有する重合体。

IPC (5件)：

C08F 222/24 , G03F 7/039 , G03F 7/004 , C08F 222/22 , H01L 21/027

FI (5件)：

C08F222/24 , G03F7/039 601 , G03F7/004 503A , C08F222/22 , H01L21/30 502R

Fターム (44件)：

2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF35P , 2H125AF38P , 2H125AH04 , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH22 , 2H125AH23 , 2H125AH24 , 2H125AJ14X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ69X , 2H125AM22P , 2H125AM91P , 2H125AM99P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN45P , 2H125AN54P , 2H125AN64P , 2H125AN65P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA03 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100BA15Q , 4J100BA46Q , 4J100BA58Q , 4J100BA59P , 4J100BB11Q , 4J100BB17P , 4J100BB17Q , 4J100BC04P , 4J100BC43Q , 4J100CA03 , 4J100CA04 , 4J100JA37

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