特許

J-GLOBAL ID：201103095861577940

水を使用して物品を洗浄し更に乾燥する方法

発明者： 田中 正人
出願人/特許権者： 株式会社千代田製作所
代理人 (1件)： 小山 欽造 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-271639
公開番号（公開出願番号）：特開平3-135487
特許番号：特許第2834795号
出願日： 1989年10月20日
公開日（公表日）： 1991年06月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】次の(a)〜(c)に示した第一〜第三行程から成る、水を使用して物品を洗浄し更に乾燥する方法。(a)密閉自在な洗浄容器中に被洗浄物を収納した後、この洗浄容器内に、上記被洗浄物の表面温度よりも十分に高温の水蒸気を送り込み、この水蒸気を上記被洗浄物の表面で凝縮させる事により、この被洗浄物の表面の加湿と洗浄とを行なう第一行程。(b)上記第一行程の後、凝縮水で濡れた被洗浄物の表面に、高温、高湿度の気体を吹き付ける事により、被洗浄物表面の水膜を薄くする第二行程。(c)上記第二行程の後、洗浄容器内の圧力を低下させる事で、被洗浄物の表面に付着した薄い水膜を蒸発させる第三行程。

IPC (4件)：

B08B 3/10 ,  F26B 5/04 ,  F26B 21/00 ,  H01L 21/304 351

FI (4件)：

B08B 3/10 Z ,  F26B 5/04 ,  F26B 21/00 P ,  H01L 21/304 351 V