特許
J-GLOBAL ID:201103095962231041

透明導電膜

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 京本 直樹 (外2名)
公報種別:特許公告
出願番号(国際出願番号):特願平1-194964
公開番号(公開出願番号):特開平3-058028
出願日: 1989年07月26日
公開日(公表日): 1991年03月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】1000オングストローム以下の単結晶あるいは多結晶シリコン薄膜と、この上に設けた数十オングストロームの金属シリサイドからなる透明導電膜。
IPC (1件):
G02F 1/1343

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