特許
J-GLOBAL ID：201103096021647897
縦型ウエハボート
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高 雄次郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-010519
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208428
特許番号：特許第3507977号
出願日： 1999年01月19日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 縦型ウエハボートの後部半円外周側に左右対称に2本ずつ配された4本のウエハ支持棒の両端を挾み固定した円環状端板の少くとも一方の円環状端板に、左右各2本のウエハ支持棒間の位置で、内周面に達しないスリットが設けられていることを特徴とする縦型ウエハボート。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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