位置決め制御装置

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-602899
特許番号：特許第4474674号
出願日： 2000年03月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】所定方向に移動可能なテーブルと、前記テーブルを搭載する機台と、前記テーブルを駆動する電動機と、前記電動機または前記テーブルの変位を検出する位置検出器とを有した機械装置に対して、前記電動機に電動機駆動信号を出力して前記テーブルを目標位置に位置決めする位置決め制御装置において、電動機伝達関数、テーブル駆動伝達関数、機台駆動伝達関数を有してトルク指令を入力して機台から見たテーブル変位を出力する機台振動モデルと、位置指令およびモデル電動機変位を入力して前記トルク指令を出力する電動機制御器モデルと、で構成する前置補償器と、前記トルク指令に応じたトルクモデル指令時系列データ、前記機台から見たテーブル変位、前記モデル電動機変位に応じた電動機モデル位置時系列データ、前記電動機変位、機台振動抑制補償値を入力して前記電動機駆動信号を出力する電動機制御器と、を備え、前記機台振動モデルが、前記トルク指令から前記機台振動抑制補償値を減算して前記電動機伝達関数を乗算して前記モデル電動機変位を算出し、前記モデル電動機変位に減速機及び極/直行座標変換定数を乗算して前記機台から見たテーブル変位を減算すると共にテーブル変位/力変換バネ定数を乗算してテーブル推進力を算出し、前記テーブル推進力に減速機及び直行/極座標変換定数を乗算して前記機台振動抑制補償値を算出し、更に、前記テーブル推進力に前記テーブル駆動伝達関数を乗算して地上から見たテーブルの絶対変位を算出し、地上から見た機台変位に機台変位/力変換バネ定数を乗算して前記テーブル推進力を減算すると共に前記機台駆動伝達関数を乗算して前記地上から見た機台変位を算出し、また更に、前記地上から見たテーブルの絶対変位から前記地上から見た機台変位を減算して前記機台から見たテーブル変位を算出するものである、ことを特徴とする位置決め制御装置。

IPC (3件)：

G05D 3/12 ( 200 6.01) , B23Q 5/22 ( 200 6.01) , G05B 11/36 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G05D 3/12 305 L , B23Q 5/22 530 B , G05B 11/36 F

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-082303
特開平4-271290
特開平4-333110

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