特許
J-GLOBAL ID：201103096204051934
電子線描画装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-352738
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168014
特許番号：特許第3296807号
出願日： 1999年12月13日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子線を発生させる電子線源と、この電子線源からの電子線を試料の試料面上に投射してパターンを描画する電子光学手段と、前記電子線を前記試料面上に走査させるときの偏向領域、および偏向感度の異なる複数段の偏向器と、この偏向器を制御する電子線偏向制御手段と、前記電子線が前記試料面上に投射されて発生する反射電子または二次電子を検出する検出器と、この検出器からの検出信号を演算処理する信号処理手段と、前記試料を載置し前記電子光学手段に対して移動させるステージを制御するステージ制御手段と、前記試料面上に描画するパターンのパターンデータに基づいて描画制御を行うデータ制御手段と、前記電子光学手段、偏向制御手段、信号処理手段、ステージ制御手段、及びデータ制御手段を一括制御する制御計算機とからなる電子線描画装置において、高速に描画を行う高速描画モードと高精度な描画を行う高精度描画モードを併せ持ち、前記複数段の夫々の偏向器に重畳するノイズによるビームの揺らぎを測定評価し、有害なノイズの重畳する任意の偏向器の偏向データを強制的に無効にし、当該偏向器とそれを駆動するアンプ及び制御回路から電気的に切り離す手段を持つことを特徴とした電子線描画装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, H01J 37/147
, H01J 37/305
G03F 7/20 504
, H01J 37/147 C
, H01J 37/305 B
, H01L 21/30 541 B
, H01L 21/30 541 K
