特許
J-GLOBAL ID：201103096237913702
回折ベースのオーバレイメトロロジーツール及びその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-537881
公開番号（公開出願番号）：特表2011-507264
出願日： 2008年12月09日
公開日（公表日）： 2011年03月03日
要約：
【課題】改良型の回折ベースのオーバレイ誤差測定システム及び方法を提供する。【解決手段】基板(100)上の第1の格子(110)と第1の格子(110)の上の第2の格子(120)との間のオーバレイを決定する方法であって、第2の格子(120)が第1の格子(110)と実質的に同一のピッチ(P1)を有し、第2及び第1の格子が複合格子(110,120)を形成し、前記方法が、基板の表面に沿った第1の水平方向(D1)に複合格子(110,120)をある入射角(β)で照明する第1の照明ビーム(IB)を提供するステップと、複合格子(110,120)から1次回折ビーム(B+)の第1の強度(i+)を測定するステップと、基板の表面に沿った第1の水平方向(D1)と逆向きの第2の水平方向(D2)に複合格子(110,120)を入射角(-β)で照明する第2の照明ビームを提供するステップと、複合格子(110,120)から-1次回折ビーム(B-)の第2の強度(i-)を測定するステップとを含む方法。【選択図】図2a
請求項（抜粋）：
基板の表面の第1のパターンと前記第1のパターンに重畳した第2のパターンとの間のオーバレイ誤差を決定する方法であって、前記第1のパターンが第1の格子を含み、前記第2のパターンが前記第1の格子の上の第2の格子を含み、前記第2の格子が前記第1の格子と実質的に同一のピッチを有し、前記第2及び第1の格子が複合格子を形成し、前記方法が、
固定位置の前記基板の表面に沿った第1の水平方向にある成分を有する方向に前記第1の照明ビームが伝搬するように、少なくとも前記複合格子をある入射角で照明する第1の照明ビームを提供するステップと、
前記複合格子から1次回折ビームの第1の強度を測定するステップと、
前記固定位置の前記基板の表面に沿った前記第1の水平方向と逆向きの第2の水平方向に第2の照明ビームがある成分を有するように少なくとも前記複合格子を前記入射角で照明する前記第2の照明ビームを提供するステップと、
前記複合格子から-1次回折ビームの第2の強度を測定するステップと、
を含む方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/30 525R
, H01L21/30 522D
