特許

J-GLOBAL ID：201103096277114608

洗浄装置及び洗浄方法

発明者： 吉沢 威
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-067887
公開番号（公開出願番号）：特開平2-246217
特許番号：特許第2734610号
出願日： 1989年03月20日
公開日（公表日）： 1990年10月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ドライ洗浄を行なう第一の処理室(3)とウェット洗浄を行なう第二の処理室(4)とを区画する区画板(5)を開口部(6)で開口し、その開口部(6)に被洗浄物(9)を保持する保持手段(12)を設けて被洗浄物(9)で区画し、第一の処理室(3)にて被洗浄物(9)の第一の処理室側の面のドライ洗浄を行ない、第二の処理室(4)にて被洗浄物(9)の第二の処理室側の面のウェット洗浄を行なうことを特徴とする洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/08 ,  B08B 5/02 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

H01L 21/304 341 D ,  B08B 3/08 A ,  B08B 5/02 Z ,  H01L 21/304 341 M ,  H01L 21/302 N

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭48-031505
  
• 特開昭63-084119