光導波路の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-078301
公開番号（公開出願番号）：特開平2-259607
特許番号：特許第2861029号
出願日： 1989年03月31日
公開日（公表日）： 1990年10月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】(1)多孔質ガラス中の細孔の一部を重合性化合物により閉塞する工程、(2)該多孔質ガラスの閉塞されていない細孔中にドーパントを導入および固定する工程、(3)該重合性化合物を分解除去する工程、及び(4)該多孔質ガラスを焼成無孔化する工程を含む光導波路の製造方法において、該多孔質ガラス中に含浸した重合性低分子化合物を位置選択的に光重合させて該多孔質ガラス中の細孔の一部を閉塞し、閉塞されていない細孔中にドーパントを吸着平衡になるまで気相で導入し、さらに減圧脱着によりガラス周辺部の該ドーパント濃度を低下させた後、該ドーパントを細孔内に固定することを特徴とする光導波路の製造方法。

IPC (1件)：