特許
J-GLOBAL ID：201103096446551010
スピンコータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003473
公開番号（公開出願番号）：特開2000-197848
特許番号：特許第3936482号
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被処理体を水平に保持して回転させる回転機構と、前記回転機構に保持された前記被処理体の上面に塗布液を滴下するノズルと、前記回転機構に保持された前記被処理体の周囲を取り囲む上部が開口されたカバーと、前記カバー内にダウンフローを発生させて排気する排気装置とを備え、前記回転機構に保持された前記被処理体の上面に塗布液を滴下し、前記回転機構を作動させて当該被処理体を高速回転させることにより、その回転に伴う遠心力によって当該被処理体の外周側に塗布液を拡張離散させて、当該被処理体の上面に塗布膜を形成するスピンコータにおいて、前記回転機構に保持された前記被処理体と前記カバーの内壁との間を通過するダウンフローの通路を遮断するシャッタ機構を備え、前記ノズルから塗布液が吐出している間は、当該シャッタ機構により当該ダウンフローの通路を遮断するように構成され、かつ、
前記シャッタ機構は前記ダウンフローの通路を前記被処理体の周方向全周に亘って同時に遮断可能に構成されていることを特徴とするスピンコータ。
IPC (4件)：
B05C 11/08 ( 200 6.01)
, B05C 9/08 ( 200 6.01)
, G03F 7/16 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
B05C 11/08
, B05C 9/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/30 564 C
