特許

J-GLOBAL ID：201103096485604015

荷電粒子ビーム装置

発明者： 羽 持 満 ,  大 井 公 郎
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-191959
公開番号（公開出願番号）：特開2002-008576
特許番号：特許第4037596号
出願日： 2000年06月27日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 荷電粒子ビームが照射される被照射物を支持したステージが配置されるように成された被照射物チャンバーを備えており、該被照射物チャンバーの少なくとも1つの面に開けられた孔に枠体をはめ込み、該枠体の内面に前記ステージを取り付け、前記枠体の外側に設けられた回転導入手段の回転に基づいて前記ステージ上で試料を移動させるように成した荷電粒子ビーム装置において、前記枠体の外側に、該枠体との間に空間が出来るようにフランジを取り付け、且つ、該フランジに前記回転導入手段を取り付け、前記枠体に回転力伝達手段を取り付け、前記空間内に配置された複数の平歯車の噛み合いにより前記回転導入手段の回転方向の力のみが前記回転力伝達手段に伝達され、回転軸方向への力はカットされるように成した荷電粒子ビーム装置。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01J 37/20 A ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/30 541 L

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭59-214150
  
• 電子顕微鏡用試料移動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-194691   出願人：日本電子株式会社