欠陥判別装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-073877
公開番号（公開出願番号）：特開平2-253109
特許番号：特許第2635758号
出願日： 1989年03月28日
公開日（公表日）： 1990年10月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】周期的なパターンを有する被検査物の欠陥判別を行う欠陥判別装置において、前記被検査物を撮像してこの被検査物の画像データを得る撮像手段と、この撮像手段で得られた画像データを前記パターンの周期の整数倍だけずらして元の画像データとの明るさの差を求める画像差演算手段と、この画像差演算手段で求められた差画像データを前記パターンに従って各小領域に分割する領域分割手段と、この領域分割手段で分割された各小領域における明るさの各平均を求めこれら平均値の最大値と最小値との差から欠陥判別を行う欠陥判別手段と、を具備したことを特徴とする欠陥判別装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01B 11/24 F , G01B 11/24 K , G01B 11/30 G , G01N 21/88 E , H01L 21/66 J

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