特許
J-GLOBAL ID:201103096679440838

微小圧力検知素子、この素子を用いた装置及び健康監視システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 酒井 宏明 ,  酒井 宏明 ,  小山 尚人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-341908
公開番号(公開出願番号):特開2002-148132
特許番号:特許第4355439号
出願日: 2000年11月09日
公開日(公表日): 2002年05月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】絶縁基板上にスピン偏磁率の高い導電性磁性部材からなる磁気抵抗効果素子膜を直線状に配置した第1層と、 前記第1層の上に設けられた絶縁膜からなる第2層と、 前記第2層を介して前記第1層の長手方向に対して交差するように設けられ、少なくとも一部が磁歪定数の大きな部材からなる高磁歪薄膜を直線状に複数本並列に配置した第3層と、 複数の前記第3層の一端と前記第1層の一端との間に一定の電位差を生じさせる直流電源と、 複数の前記第3層の他端の接続対象を切り換える第1スイッチング回路と、 前記第1スイッチング回路と前記第1層の他端との間に流れる電流値を測定する電流計と、 を備え、前記第1層と、磁歪部として機能する複数本並列に配置された前記第3層とが交差するアレイ状の複数の検知点に対して検知対象物から外部圧力が印加されると、磁歪変化による磁気抵抗の変化率に基づいて微小圧力の変化を検知することを特徴とする微小圧力検知素子。
IPC (1件):
G01L 9/16 ( 200 6.01)
FI (1件):
G01L 9/16
引用特許:
審査官引用 (10件)
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