特許

J-GLOBAL ID：201103096711938126

多重グリッド光学システム及びその製造方法及びイオンスラスタ

発明者： 尾崎 敏之
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 高橋 省吾 ,  稲葉 忠彦 ,  村上 加奈子 ,  中鶴 一隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-399647
公開番号（公開出願番号）：特開2003-201957
特許番号：特許第3906686号
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数のビーム抽出用開口を有するスクリーングリッドと、 前記スクリーングリッドから間隔を隔てられ、前記スクリーングリッドのビーム抽出用開口にほぼ対向する位置にビーム抽出用開口を有する加速グリッドと、 前記加速グリッドから間隔を隔てられ、前記加速グリッドのビーム抽出用開口にほぼ対向する位置にビーム抽出用開口を有する減速グリッドとから構成され、イオンスラスタにおけるプラズマ生成室からイオンビームを発生させる多重グリッド光学システムであって、 前記スクリーングリッドは、ビーム抽出用開口の側面には前記耐スパッタリング性セラミック膜が堆積せず、前記プラズマ生成室に面する面に耐スパッタリング性セラミック膜がコーティングされるように成膜されており、 前記加速グリッドは、ビーム抽出用開口の側面及び前記減速グリッドに面する面に耐スパッタリング性セラミック膜をコーティングされていることを特徴とする多重グリッド光学システム。

IPC (3件)：

F03H 1/00 ( 200 6.01) ,  H01J 27/02 ( 200 6.01) ,  H05H 1/54 ( 200 6.01)

FI (3件)：

F03H 1/00 A ,  H01J 27/02 ,  H05H 1/54

引用特許：

審査官引用 (3件)

• イオンエンジン
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-040016   出願人：科学技術庁航空宇宙技術研究所長, 株式会社東芝
• 特開昭63-212777
  
• 特開昭63-293151