特許

J-GLOBAL ID：201103096882379613

圧電/電歪デバイス及びその製造方法

発明者： 武内 幸久 ,  七瀧 努 ,  池田 幸司 ,  木村 浩二 ,  柴田 和義
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (2件)： 千葉 剛宏 ,  宮寺 利幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-067781
公開番号（公開出願番号）：特開2001-315099
特許番号：特許第3851485号
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】矩形体である固定部と、前記固定部の一面の相対向する端部に設けられた相対向する一対の矩形板状の薄板部と、前記薄板部の前記固定部が設けられるのと対向する端に、前記薄板部より厚い相対向する一対の矩形体状の可動部を有し、 圧電/電歪素子の駆動部分が、前記一対の薄板部のうち、少なくとも1つの薄板部の一部から前記固定部の一部にかけて連続して形成され、 前記一対の薄板部の相対向する内壁と前記一対の可動部の前記固定部と対向する内壁と前記固定部の前記可動部の内壁と対向する内壁とにより孔部が形成された圧電/電歪デバイスであって、 前記一対の可動部は、互いに対向し、且つ、前記孔部につながる端面を有することを特徴とする圧電/電歪デバイス。

IPC (4件)：

H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  H01L 41/08 ( 200 6.01) ,  H01L 41/22 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 41/08 J ,  B81B 3/00 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• コンデンサ付き圧電アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-310822   出願人：株式会社デンソー
• 特開昭62-259485
  
• 特開昭62-259485