特許

J-GLOBAL ID：201103096944240854

感光性樹脂組成物

発明者： 城内 公之
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (5件)： 田中 光雄 ,  山田 卓二 ,  森住 憲一 ,  柴田 康夫 ,  梶田 真理奈
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-082365
公開番号（公開出願番号）：特開2011-022557
出願日： 2010年03月31日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：

【課題】塗布性に優れ、かつ解像性に優れたパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】ケイ素含有アクリル樹脂(A)、シロキサン化合物(B)(ただし、(A)を除く)、感光物質(C)及び溶剤(D)を含有し、溶剤(D)が、エステル結合及びエーテル結合を有し、かつヒドロキシ基を有さない有機溶剤(D1)と、ヒドロキシ基を有する有機溶剤(D2)とを含む溶剤である感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ケイ素含有アクリル樹脂(A)、シロキサン化合物(B)(ただし、(A)を除く)、感光物質(C)及び溶剤(D)を含有し、溶剤(D)が、エステル結合及びエーテル結合を有し、かつヒドロキシ基を有さない有機溶剤(D1)と、ヒドロキシ基を有する有機溶剤(D2)とを含む溶剤である感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/075 ,  C08F 20/28

FI (3件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/075 511 ,  C08F20/28

Fターム (35件)：

2H125AD15 ,  2H125AF27P ,  2H125AF49P ,  2H125AM22P ,  2H125AM32P ,  2H125AM86P ,  2H125AN11P ,  2H125AN31P ,  2H125AN36P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN44P ,  2H125AN46P ,  2H125AN57P ,  2H125AN58P ,  2H125AN80P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA11P ,  2H125CA22 ,  2H125CA24 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC12 ,  4J100AJ01Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ08Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100BA12R ,  4J100BA15R ,  4J100BA77P ,  4J100BC54R ,  4J100CA05 ,  4J100JA38