特許
J-GLOBAL ID：201103097019311411
エアロック
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (10件)：
中村 稔
, 大塚 文昭
, 熊倉 禎男
, 宍戸 嘉一
, 竹内 英人
, 今城 俊夫
, 小川 信夫
, 村社 厚夫
, 西島 孝喜
, 箱田 篤
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-375998
公開番号（公開出願番号）：特開2000-225331
特許番号：特許第4319307号
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 金属シートのストリップを、移動の方向に従って真空チャンバーの中に導入し、且つそれを真空チャンバーの中に連続的に通すためのエアロックにおいて、
a)壁を有する包囲体と、
b)包囲体内に取付けられた少なくとも2つのローラーからなる第1ローラー列と、を有し、該第1ローラー列のローラーは、平行軸線を中心に回転することができ、かつストリップはローラーの間を移動することができ、
c)第1ローラー列からずれて包囲体内に取付けられた第2ローラー列を有し、該第2ローラー列のローラーは平行軸線を中心に回転することができ、かつストリップはローラーの間を移動することができ、前記第2ローラー列の各ローラーは第1ローラー列の2つのローラーに隣接して配置され、
d)ローラーの間にストリップ用の通路が設けられ、ストリップは、ローラーの軸線に対して180 ゚よりも小さい角度に亘ってローラーの各々と接触しており、
e)ストリップと、前記第1ローラー列及び第2ローラー列の隣接した2つのローラーとの間に、各々真空ポンプに連結された一連の本質的に気密な領域が形成され、
エアロックは、さらに、
隣接する少なくとも2つのローラーの間の、ストリップが移動する方向に対して本質的に直交する方向の距離を調整するように設けられた手段と、
この距離を調整するように設けられた手段とは別に、各々真空ポンプに連結された本質的に気密な連続する領域の間の圧力差に応じて、ストリップに作用するストリップが移動する方向の張力を調整することによって、ストリップがローラーに当たる圧力を調整するための手段と、
を有することを特徴とする、エアロック。
IPC (3件)：
B01J 3/02 ( 200 6.01)
, C23C 14/56 ( 200 6.01)
, B65H 27/00 ( 200 6.01)
B01J 3/02 P
, C23C 14/56 C
, B65H 27/00 Z
