特許
J-GLOBAL ID：201103097129220284
相対位置検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-033550
公開番号（公開出願番号）：特開平2-213706
特許番号：特許第2525237号
出願日： 1989年02月15日
公開日（公表日）： 1990年08月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】相互の相対位置関係が検出されるべき第1および第2の物体を光束で照明し第1および第2の物体間の位置情報をそれぞれ有する少なくとも2つの光束を生じさせる照明手段と、該位置情報を有する各光束を受光し光電変換してそれぞれの光強度分布としての少なくとも2つの位置情報信号を得る位置情報検出手段と、該位置情報信号に基づいて該各光束の光強度分布の相関を求め、さらにこの相関値の分布から第1および第2の物体間の相対位置関係を求める情報処理手段とを具備することを特徴とする相対位置検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 C
, H01L 21/30 521
