処理液の消泡装置、処理液の消泡方法、処理液の循環装置および処理液の循環方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-066522
公開番号（公開出願番号）：特開2000-254408
特許番号：特許第3607828号
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】処理液の泡が供給される内槽を回転させることにより、前記処理液の泡を遠心力によって前記内槽の壁面に設けられた複数の小径孔に集めて破泡するための破泡手段と、前記破泡手段によって破泡されて液化された処理液を回収するための回収手段とを含む処理液の消泡装置。

IPC (2件)：