特許
J-GLOBAL ID：201103097302948825
ウェハカセット装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 手島 勝
, 藤田 篤史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-157853
公開番号（公開出願番号）：特開2001-338952
特許番号：特許第4088401号
出願日： 2000年05月29日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 上面に半導体ウェハを保持するウェハ保持部を有するウェハトレイと、
前記ウェハトレイの上方に前記ウェハ保持部と対向するように設けられたプローブカードと、
前記ウェハトレイ上面のウェハ保持部の外方に設けられ、前記プローブカードと共に密閉空間を形成するシール部材とを備え、
前記プローブカードは、前記ウェハトレイ上の半導体ウェハと前記プローブカードとのアライメント後の運搬、保管時及び検査時に前記密閉空間の真空状態を維持するための接続口を持つ
ことを特徴とするウェハカセット装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, B65D 85/86 ( 200 6.01)
, G01R 1/06 ( 200 6.01)
, G01R 31/28 ( 200 6.01)
, H01L 21/673 ( 200 6.01)
H01L 21/66 B
, B65D 85/38 K
, G01R 1/06 E
, G01R 31/28 J
, G01R 31/28 K
, H01L 21/68 U
