特許
J-GLOBAL ID：201103097459401749
圧電振動子ユニット、及び、それを備えたインクジェット式記録ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津久井 照保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-175119
公開番号（公開出願番号）：特開2001-347661
特許番号：特許第3849405号
出願日： 2000年06月12日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 圧電体と電極を交互に積層して構成され積層方向とは直交する方向に伸縮可能な圧電振動子を複数列設した圧電振動子群と、各圧電振動子の基端部分を支持する固定部とを備えた圧電振動子ユニットにおいて、
前記圧電振動子群と固定部とを共通の材料によって一体に形成すると共に、圧電振動子の自由端部分と固定部とを互いに縁を切った状態で配置し、
前記圧電振動子は共通電極と個別電極とを重ね合わせた活性領域を備え、
前記固定部を、圧電体と電極を交互に積層した積層体によって構成すると共に、固定部における前記活性領域に対応する部分に、共通電極と個別電極とを重ね合わせた固定部側活性領域を形成し、
前記圧電振動子の先端面と固定部の先端面とを同一面上に揃えたことを特徴とする圧電振動子ユニット。
IPC (4件)：
B41J 2/045 ( 200 6.01)
, B41J 2/055 ( 200 6.01)
, H01L 41/083 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 N
, H01L 41/08 U
